Maschinen und Geräte zur Herstellung von Mikrosystemen
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- Zielgruppe : Studenten des Maschinenbaus mit Studienrichtung
Produktionstechnik, Vertiefungsrichtung Produktionstechnik für Mikrosysteme, Studenten der Elektrotechnik mit Studienschwerpunkt Produktionstechnik für Mikrosysteme
- Turnus: WS (2V/2Ü)
- Dozent: Dr. Gillner
Im Rahmen der Ringvorlesung »Maschinen und Geräte zur Herstellung von
Mikrosystemen« werden in insgesamt 6 Vorlesungsveranstaltungen die Grundlagen
zu Laserstrahlquellen und der dazugehörigen Systemtechnik zur Laser-
Mikromaterialbearbeitung vermittelt. Dazu gehören die Grundprinzipien der
Laserstrahlerzeugung, der Strahlübertragung und der Maschinentechnik. Der
Schwerpunkt wird auf die Strahlquellen gelegt, die für Lithographie, Mikroabtrag
und Mikrofügen benötigt werden.
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