Herstellungsprozesse für Mikrosysteme
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- Zielgruppe: Studenten des Maschinenbaus mit Studienrichtung
Produktionstechnik, Vertiefungsrichtung Produktionstechnik für Mikrosysteme, Studenten der Elektrotechnik mit Studienschwerpunkt Produktionstechnik für Mikrosysteme
- Turnus: WS (2V/2Ü)
- Dozent: Dr. Gillner
Im Rahmen der Ringvorlesung »Verfahren zur Herstellung von Mikrosystemen«
werden in insgesamt 6 Vorlesungsveranstaltungen die Grundlagen zur Laserstrahl-
Mikromaterialbearbeitung vermittelt. Nach 2 Vorlesungen zur Wechselwirkung
von Laserstrahlung mit Materie und dem Transfer der Energie innerhalb
des Werkstoffs werden die Verfahren Lithographie, Abtragen, Bohren, Beschichten
und Fügen behandelt. Abschließend werden Praxisbeispiele aus Elektronik, Mikrosystemtechnik
und Feinwerktechnik präsentiert und das Potential der Lasermikrobearbeitungsverfahren
für Nanotechnologie und Medizinanwendung diskutiert.
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